华茂实业有限公司专营自动化量测、检测 (AOI) 设备开发、光谱共焦( Confocal )量测设备、超音波靶材检测 ~~~
  1. 产品介绍
  2. 探针卡半自动调针机

探针卡半自动调针机

针对探针卡检测需求,开发可自动检测针位及平面度,且可针对问题探针定位至调针区,方便调针人员快速调针,提供IC封测厂商更快速及简易的调针解决方案。

设备规格:

主结构

花岗岩平台、被动式防震座

X-Y轴线性马达驱动平台

Z轴自动对焦

运动解析度0.1 μm

重复精度 ±1μm

移动行程 (X-Y-Z):500 x 110 x 110mm

光学元件

类型

元件

解析度

X-Y

Z

高度量测

白光共焦

1 μm

0.2 μm

视觉量测

CCD

1.2 μm

90μm

调针

显微镜

倍率 80

探针卡尺寸

Probe Card: 480x600 x48mm

量测范围

100*100 (mm)


探针卡调针机 1326998