探針卡半自動調針機
針對探針卡檢測需求，開發可自動檢測針位及平面度，且可針對問題探針定位至調針區，方便調針人員快速調針，提供IC封測廠商更快速及簡易的調針解決方案。
設備規格:
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主結構 |
花崗岩平台、被動式防震座 X-Y軸線性馬達驅動平台 Z軸自動對焦 運動解析度0.1 μm 重複精度 ±1μm 移動行程 (X-Y-Z):500 x 110 x 110mm |
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光學元件 |
類型 |
元件 |
解析度 |
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X-Y |
Z |
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高度量測 |
白光共焦 |
1 μm |
0.2 μm |
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視覺量測 |
CCD |
1.2 μm |
90μm |
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調針 |
顯微鏡 |
倍率 80倍 |
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探針卡尺寸 |
Probe Card: 480x600 x48mm |
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量測範圍 |
100*100 (mm) |
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